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玻璃材料隨著人類文明科技的飛速進步已經廣泛應用于人們日常生活中，例如幕墻玻璃、手機蓋板玻璃、紅外視窗玻璃、汽車玻璃、手表表盤等。但是由于玻璃材料在加工、物流及使用過程中，玻璃材料的表面難免會造成一些劃傷和磨損等缺陷，嚴重影響玻璃器件的使用質量，導致有大量的玻璃材料被當作廢品回爐，造成了巨大的浪費與經濟損失。因此，為了降低高額損失，提高玻璃的使用壽命，增強玻璃表面的抗劃傷和抗磨損性能已成為當今社會迫切需要解決的問題。

鍍膜是材料表面改性的一個重要方面，而在玻璃基片上沉積大面積各種功能的膜層已經形成巨大的產業化規模,是目前玻璃深加工的重要手段之一,，通過鍍膜可以提高玻璃的各項性能。

玻璃鍍膜基底附著力的改善是一個重要的技術問題，它直接關系到鍍膜的質量和持久性。等離子清洗技術可以實現表面清洗、表面活化、表面蝕刻等功能，有效去除玻璃表面的有機殘留物，提高表面的清潔度和活性，從而增強鍍膜與基底的附著力。

等離子清洗

常規的化學清洗方法只能清潔表面大顆粒雜質，等離子體清洗能夠實現更高的表面清潔度，同時提高表面的活性。如圖1-1所示為等離子體清洗的工作示意圖。

圖1-1 等離子清洗機工作原理示意圖

等離子體表面清洗的原理是通過通入相應的氣體，在經過等離子體激發后對材料表面進行清洗。等離子體清洗的功率相對于等離子體表面刻蝕的功率小，其單個等離子體基團攜帶的能量在撞擊材料表面時不足以對表面進行大面積刻蝕。但表面吸附雜質與表面原子的成鍵相對較低，等離子體攜帶的能量能夠使其斷鍵，使表面低吸附能的雜質脫離，達到更高的清潔水平。

等離子清洗除了有去除表面低鍵能吸附雜質的功能之外，同時等離子體基團在撞擊材料表面的同時能夠將能量傳遞給表面原子，增加表面的活性，經過等離子體處理后的表面活性較高。如圖1-2所示為等離子體表面處理前后的對比效果圖，在表面滴水測試能夠發現，未經過表面活化的玻璃表面水珠顆粒較小，顆粒聚集；而經過等離子體表面處理后的液滴彌散，潤濕角較小。

圖1-2玻璃等離子清洗前后水滴角對比

通過等離子清洗玻璃表面，可以顯著提高玻璃表面的附著力和表面能。此過程會增加玻璃表面硅羥基的含量，從而引起分子間的偶極作用力。這種處理有助于提高薄膜與玻璃基板之間的黏附力，并且可促進后續磁控濺射所鍍制膜層與基板之間的化學反應，從而提高膜層的結合強度。