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干法清洗方式近年來得到了快速發(fā)展，并且該方法不需要液體參與，可以精確控制清洗位置，并且清洗后不會在清洗表面引入雜質(zhì)，可以反復(fù)對表面清洗。干法清洗廣泛應(yīng)用在各種表面清洗，主要包括：激光清洗、紫外線/臭氧清潔以及等離子清洗等。

（1）激光清洗

激光清洗具有非接觸、環(huán)保的特點(diǎn)，是一種新型的清洗技術(shù)。激光清洗是借助激光輻射下的蒸發(fā)、振動、燒蝕和沖擊波的綜合作用，去除表面的污染物，但會損壞基材。

（2）紫外線/臭氧清洗

紫外線/臭氧清洗技術(shù)可以使用產(chǎn)生的強(qiáng)氧化性粒子去除表面的碳?xì)浠衔铮谧贤饩€與臭氧作用下，表面的碳?xì)浠衔锉谎趸癁閾]發(fā)性氣體，實(shí)現(xiàn)了表面有機(jī)污染物的無損去除。

（3）等離子清洗

等離子體清洗過程主要借助產(chǎn)生的活性粒子與表面有機(jī)污染物進(jìn)行反應(yīng)，在等離子體清洗過程中涉及到活性粒子的物理碰撞及化學(xué)反應(yīng)兩個過程。物理碰撞反應(yīng)是借助具有能量的活性粒子與吸附的污染物碰撞，當(dāng)能量大于分子間吸附力時(shí)，碳?xì)浠衔锩撾x基體表面。等離子體清洗過程中的化學(xué)反應(yīng)涉及到：活性粒子可以打斷吸附的碳?xì)浠衔锏逆I，生成一些小分子，脫離表面。等離子體也會加熱基體，降低分子間分子吸附作用。等離子體清洗技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)基體表面污染物的無損去除，具有良好的應(yīng)用前景。

上述的清洗方式的優(yōu)缺點(diǎn)如表1-1所示。

激光清洗、紫外線/臭氧清潔以及等離子清洗方式比較

綜上所述，激光清洗、紫外線/臭氧清潔和等離子清洗各有其獨(dú)特的優(yōu)勢和應(yīng)用場景。在選擇合適的清洗技術(shù)時(shí)，需要根據(jù)具體的清洗需求、工件特性以及成本考慮等因素進(jìn)行綜合評估。