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NE-MW05是一款結(jié)構(gòu)緊湊、高性能的小型桌面式微波等離子清洗機(jī)，專為研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，設(shè)備使用最新的性能出色的組件和軟件，可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制，主要用于半導(dǎo)體、光學(xué)、電子、生物芯片等領(lǐng)域?qū)Ω鞣N材料表面進(jìn)行微觀清潔、活化、改性、去氧化、去膠等應(yīng)用。  

NE-MW05依靠微波等離子體技術(shù)，微波等離子體具有高電離度和離解度能產(chǎn)生更多的活性粒子，從而提高清洗速率，同時(shí)微波等離子清洗機(jī)本身沒有內(nèi)部電極從而消除了電極在放電區(qū)域存在而帶來的電極材料污染，有利于高純化學(xué)反應(yīng)和延長(zhǎng)使用壽命，適應(yīng)于作高純度物質(zhì)的制備和處理。并且整個(gè)放電過程不需要正負(fù)電極，產(chǎn)生的自偏壓極小，等離子體中離子能量低，最大程度的降低了產(chǎn)品暴露在靜電放電（ESD）中，從根本上避免了產(chǎn)品表面損傷，因此微波等離子清洗技術(shù)非常適合于在半導(dǎo)體芯片封裝中應(yīng)用。