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真空等離子清洗機作為一種精密干法清洗設備，適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗；可應用于半導體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，可去除材料表面的油脂、油污等有機物及氧化層。還可應用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。