產品簡介
NE-PE160F真空等離子體清洗機是一款中大型表面處理設備，利用等離子體來清洗物質表面，以達到清潔，活化、改性、刻蝕等目的。可以應用于半導體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
NE-PE160F主要由控制單元、真空腔體和真空泵三個部分組成，通過數控技術，可以輕松對各種參數進行調節，因為清洗過程在真空腔室中進行，所以清洗后不用干燥，操作簡單，環境友好。
產品參數
| 型號 | NE-PE160F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz 自動阻抗匹配 |
| 極限真空度 | 10Pa |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 功率 | 0-1000W可調 |
| 腔體材質 | 316不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 腔體尺寸 | 550(W)*600(D)*500(H)mm |
| 腔體容積 | 165L |
| 單層有效處理面積 | W510mm x D510mm |
| 氣路數量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等 |
| 極板間距 | 54mm（可調整） |
| 處理層數 | 8層（可定制） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1170mm(L)×1190mm(W) ×1825 mm(H) |
產品應用
提高親水性
改善粘接性
表面微刻蝕
有機物去除
氧化物還原
提高印刷油墨附著力
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