產品簡介
NE-PE65F是一款半導體行業專用的真空等離子清洗機，作為一種精密干法清洗設備，適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗；可應用于半導體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，可去除金屬表面的油脂、油污等有機物及氧化層。還可應用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
設備采用鏡面不銹鋼鈑金，具有優異的耐腐蝕性和潔凈度，電極絕緣部分采用陶瓷電極板托條，腔體密封件采用不含氟的材料，有效避免腔體內氟元素污染，設備滿足半導體行業高潔凈度的要求，雜質的去除會大大提升產品質量，實現工藝性能的大幅增強，提高良品率及產品可靠性。
設備應用：1、引線鍵合(Wire-bond)前的等離子清洗；2、塑封(Molding)前的等離子清洗；3、底部填充(Under-fill)前的等離子清洗；4、光刻膠的去除（Descum）；5、表面粗化與刻蝕（Etching），使材料易于結合；
產品參數
| 型號 | NE-PE65F |
| 等離子發生器頻率 | 射頻13.56MHz |
| 功率 | 500W |
| 腔體材質 | 316 不銹鋼/航空鋁材 |
| 真空泵 | 干泵 |
| 鈑金 | 鏡面不銹鋼 |
| 電極絕緣 | 陶瓷 |
| 腔體容積 | 66L |
| 腔體尺寸 | 400(W)*450(D)*370(H)mm |
| 單層有效處理空間 | 297(W)mm x 364(D)mm |
| 電極板層數 | 6層（可定制） |
| 氣體流量控制器 | 質量流量計0-500SCCM |
| 工藝氣體通道 | 2路（可增加） |
| 外形尺寸 | 905mm(L)×1030mm(W) ×1735 mm(H) |
| 電源供應 | AC380V,50/60Hz，三相五線100A |
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